ОТРИМАННЯ ПЛІВОК ZnO НА МАКРОПОРУВАТОМУ Si (100) МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ
Journal Title: ЕЛЕМЕНТИ, ПРИЛАДИ ТА СИСТЕМИ В ЕЛЕКТРОНІЦІ - Year 2018, Vol 2, Issue
Abstract
У даній роботі методом реактивного магнетронного ВЧ розпилення отримані плівки ZnO на підкладках кремнію орієнтації (100) з попередньо нанесеною системою макропор. Рентгенографічні дослідження ZnO показали, що вони мають полікристалічну природу з гексагональною решіткою типу вюрцит. Середні розміри кристалітів склали 12 нм. Мікроелементний аналіз виявив практично ідеальну стехіометричність ZnO вирощеного на porous-Si/Si.
Authors and Affiliations
Валерій Кідалов, Алена ДЯДЕНЧУК, В. А. БАТУРИН, І. В. РОГОЗІН, А. Г. ЖУК, М. М. ФІЛОНЕНКО, О. Ю. КАРПЕНКО, В. В. КІДАЛОВ
Keywords
Related Articles
- EP ID EP539904
- DOI -
- Views 170
- Downloads 0
GaN CLUSTERS OBTAINED BY THE METHOD OF RADICAL-BEAM EPITAXY ON POROUS GaAs
This paper proposes an original method for producing gallium nitride clusters on substrates of nanoporous gallium arsenide by annealing the substrate in an atmosphere of nitrogen radicals. The porous surface of GaAs was...
ВИМІРЮВАЛЬНАСИСТЕМА АБСОЛЮТНОГО ЕНКОДЕРА
Перетворювачі кутових переміщень широко застосовуються у всіх галузях промисловості і є невід'ємною частиною систем автоматизації виробничих процесів. Особливий економічний ефект від використання енкодерів дає застосуван...
ШЛЯХИ ПІДВИЩЕННЯ ЧУТЛИВОСТІ ФОТОПРИЙМАЛЬНОГО КАНАЛУ ІМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ДАЛЕКОМІРА
У роботі розглянуто структуру імпульсного лазерного далекоміра та способи його вдосконалення, а саме підвищення чутливості фотоприймального каналу за допомогою просвітлення вхідного вікна фотоприймача - кремнієвого фільт...
ПОВЕРХНОСТНЫЙ ПОТЕНЦИАЛ МЕЗОРАЗМЕРНЫХ ЧАСТИЦ ZnS:Mn, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ СВС
Исследована зависимость величины поверхностного потенциала от размера частиц микро- и мезо- фракций порошкообразного ZnS:Mn, полученного методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Показано хорошее согл...
ВИРОБНИЦТВО ЕПІТАКСІЙНИХ ШАРІВ КРЕМНІЮ МЕТОДОМ ХІМІЧНОГО ОСАДЖЕННЯ З ПАРОВОЇ ФАЗИ
Розглянуто сучасний стан технологій формування епітаксійних шарів кремнію. Незважаючи на активні дослідження альтернативних процесів, на сьогодні основною промисловою технологією залишається хімічне осадження з парової ф...