WŁAŚCIWOŚCI FIZYKO-CHEMICZNE CIENKICH WARSTW ZnO-In-O
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2012, Vol 59, Issue 259
Abstract
W pracy przedstawiono wyniki badań właściwości elektrycznych cienkich warstw tlenkowych Zn-In-O. Warstwy te otrzymano metodą impulsowego rozpylania magnetronowego metalicznego targetu o składzie wagowym 80%Zn-20%In w obecności czystego argonu. Przedstawiono wpływ częstotliwości grupowej na skład chemiczny i mikrostrukturę uzyskanych warstw. Częstotliwość grupową zmieniano od 50 Hz do 4,5 KHz. Ciśnienie gazu roboczego ustalono na poziomie 1,3 Pa, a moc wydzieloną na elektrodzie podczas procesu rozpylania na poziomie 200 W. Warstwy tlenkowe do badań mikroskopowych nakładano na podłoża szklane typu CORNIG, a do badań elektrycznych na podłoża szklane z naniesioną przewodzącą warstwę tlenku cyny i indu (ITO). Badania prądów resorpcji i absorbcji wykazały, że w warstwach istnieje ładunek elektryczny wprowadzony podczas procesu rozpylania. Stwierdzono również wpływ częstotliwości grupowej na skład chemiczny uzyskanych warstw. Wykazano, że ze zwiększeniem częstotliwości grupowej zwiększa się liczba i rozmiar skupisk metalicznego indu.
Authors and Affiliations
Jan ZIAJA
Keywords
Related Articles
- EP ID EP187592
- DOI -
- Views 68
- Downloads 0
ELECTRIC FIELD ANALYSIS IN A SWITCHGEAR OF MIDDLE VOLTAGE
In the paper, the electric field analysis in a selected compartment of a middle voltage switchgear is presented. The analysis has been performed using a professional software package that employs the finite element metho...
OCENA WPŁYWU PROMIENIOWANIA ŚWIETLNEGO NA NANOSKOPOWE WŁAŚCIWOŚCI POWIERZCHNI KOMPOZYTÓW TERMOUTWARDZALNYCH
Ocena wpływu promieniowania słonecznego na właściwości mechaniczne materiałów jest jednym z podstawowych badań środowiskowych, które przywoływane są w normach przedmiotowych dotyczących różnego typu urządzeń i elementów...
NEW ORGANIC ABSORBERS FOR MODIFICATION OF TEXTILES MADE OF CELLULOSE FIBRES APPLIED FOR PERSONAL PROTECTION AGAINST UV RADIATION
The most important element in protecting the skin against the harmful effects of ultraviolet radiation emitted by natural and artificial sources is an apparel made from textile materials with a suitable barrier and wear...
OCENA MODELOWANIA DYNAMICZNEGO JAKO NARZĘDZIA DO PROGNOZOWANIA ZUŻYCIA ENERGII ELEKTRYCZNEJ PRZEZ ODBIORCÓW INDYWIDUALNYCH
Prognozowanie zużycia energii elektrycznej jest narzędziem niezbędnym dla nowoczesnego zarządzania energią elektryczną. Umiejętność właściwego przewidywania przyszłych zachowań stanowi podstawę efektywnego zarządzania. Z...
FSI – ELECTRONIC CONTROL OF GASOLINE DIRECT INJECTION SYSTEM
In this article is presented a detailed analysis of FSI (Fuel stratified injection) gasoline direct injection system used in the Volkswagen Group cars. In the paper are also presented characteristic elements of the const...