ФУНКЦІОНАЛЬНА СТІЙКІСТЬ СИСТЕМИ КЕРУВАННЯ ГЕНЕРАТОРОМ ПЛАЗМИ З СЕКЦІОНОВАНИМИ КАТОДНИМИ ВУЗЛАМИ В РЕЖИМІ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО НАНЕСЕННЯ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ НАНОСТУКТУРОВАНИХ МАТЕРІАЛІВ
Journal title: Science Review
Authors: Сергій Миколайович Фірсов, Сергій Борисович Кочук, Марія Володимирівна Бреславець, Юлія Валентинівна...
Subject(s):